CRDS（Cavity Ring-Down Spectroscopy）方式は現在用いられている微量水分の測定原理の中でも正確に、かつ高速で測定する方式です。測定ガスを満たしたキャビティの両端に高反射率ミラーを設置しレーザー光を導入 します。レーザー光には気体中の水分子の吸収波長を使用しているため、キャビティ内の水分率に応じて吸収量が変化します。キャビティ内に導入された光の量は高反射率ミラーの反射率と水分率に依存して減衰します。高反射率ミラーから漏れ出した光を受光し、減衰の時間を時定数（リングダウンタイム）として吸収スペクトルを得て、フィッティングを行うことで水分量を測定します。

微量水分領域での高精度・高感度・高速応答測定を実現

mini CRDS-H2Oは12 ppbv ～ 20 ppmv（-100 ～ -55 ℃DP）の微量水分を非常に精度良く測定可能です。また、測定部（キャビティ）の小型化を実現したため、ドライガス置換時の応答性も非常に高く、１５ ppbv⇔1000 ppbvの水分量変化に対して、60秒以内で応答します（90%応答）。

見やすいタッチパネルで簡単操作

モニタ部には5inchのフルカラータッチパネルが搭載されており、測定の開始・停止や設定を行うことができます。測定画面では大きな測定値とトレンドグラフが表示され、大きなグラフと切り替えることが可能です。また、誤動作を防止するための画面ロック機能や、機器の状態を確認する機能、設定した閾値の判定を行うアラーム機能を搭載しています。モニタ部の代わりにPCを使用する場合は、専用ソフトウェアにて同機能を使用可能です。

接ガス部は腐食に強く、高い長期安定性を実現

CRDS方式は構造上、センサであるレーザーやディテクターとガスが非接触であり、接ガス部にはSUSを中心とした耐薬品素材を採用しているため、腐食性ガスにも対応可能です。また、従来の測定方法（鏡面冷却式・静電容量式など）とは異なり、『絶対測定法』であるCRDS方式は光の減衰時間から水分量が直接算出可能なため、レーザーパワーの減少などの経年劣化に依存せず正確な測定が可能で、高い長期安定性を有しています。